Karakteristik:

1) Kecepatan nitridasi lebih cepat, siklus nitridasi dapat dipersingkat secara tepat, dan waktu nitridasi ionik dapat dipersingkat menjadi 1/3-2/3 dari waktu nitridasi gas.

2) Kerapuhan lapisan nitridasi rendah, dan lapisan putih yang terbentuk pada permukaan nitridasi plasma sangat tipis, atau bahkan tidak ada sama sekali. Selain itu, deformasi yang disebabkan oleh lapisan nitridasi kecil, sehingga sangat cocok untuk komponen presisi dengan bentuk yang kompleks.

3) Konsumsi energi dan amonia dapat dihemat. Konsumsi energi listrik adalah 1/2-1/5 dari nitridasi gas dan konsumsi amonia adalah 1/5-1/20 dari nitridasi gas.

4) Proses nitridasi lokal mudah dilakukan, selama bagian yang tidak ingin dinitrida tidak menghasilkan pijar, bagian yang tidak dinitrida mudah dilindungi, dan pijar dapat dilindungi dengan pelindung mekanis dan pelat besi.

5) Penembakan ion dapat memurnikan permukaan dan menghilangkan lapisan pasivasi secara otomatis. Baja tahan karat dan baja tahan panas dapat dinitrida secara langsung tanpa perlu menghilangkan lapisan pasivasi terlebih dahulu.

6) Struktur lapisan komposit, ketebalan dan struktur lapisan infiltrasi dapat dikontrol.

7) Kisaran suhu perlakuan luas, dan ketebalan lapisan nitridasi tertentu dapat diperoleh bahkan di bawah 350 C.

8) Kondisi kerja telah ditingkatkan. Pengolahan nitridasi plasma dan bebas polusi dilakukan di bawah tekanan sangat rendah dengan gas buang yang sangat sedikit. Sumber gasnya adalah nitrogen, hidrogen, dan amonia, dan pada dasarnya tidak ada zat berbahaya yang dihasilkan.

9) Metode ini dapat diterapkan pada semua jenis material, termasuk baja tahan karat, baja tahan panas dengan suhu nitridasi tinggi, baja perkakas, dan komponen presisi dengan suhu nitridasi rendah, sementara nitridasi suhu rendah cukup sulit dilakukan dengan nitridasi gas.