Karburasi vakum adalah memanaskan benda kerja dalam ruang hampa.Ketika mencapai suhu di atas titik kritis, itu akan tinggal untuk jangka waktu tertentu, degass dan menghilangkan film oksida, dan kemudian melewatkan gas karburasi murni untuk karburasi dan difusi.Suhu karburasi dari karburasi vakum tinggi, hingga 1030 , dan kecepatan karburasinya cepat.Aktivitas permukaan bagian karburasi ditingkatkan dengan degassing dan deoxidizing.Kecepatan difusi berikutnya terlalu tinggi.Karburasi dan difusi dilakukan berulang-ulang dan bergantian sampai tercapai konsentrasi permukaan dan kedalaman yang diinginkan.
Kedalaman karburasi vakum dan konsentrasi permukaan dapat dikontrol;Itu dapat mengubah sifat metalurgi dari lapisan permukaan bagian logam, dan kedalaman karburasi efektifnya lebih dalam daripada kedalaman karburasi sebenarnya dari metode lain.