Karakteristik:

1) Kecepatan nitriding lebih cepat, siklus nitriding dapat dipersingkat dengan tepat, dan waktu nitriding ionik dapat dipersingkat menjadi 1/3-2/3 dari waktu nitriding gas.

2) Kerapuhan lapisan nitridasi kecil, dan lapisan putih yang terbentuk pada permukaan plasma nitridasi sangat tipis, bahkan tidak ada. Selain itu, deformasi yang disebabkan oleh lapisan nitridasi juga kecil, sehingga sangat cocok untuk komponen presisi dengan bentuk kompleks.

3) Konsumsi energi dan amonia dapat dihemat. Konsumsi energi listrik adalah 1/2-1/5 dari nitriding gas, dan konsumsi amonia adalah 1/5-1/20 dari nitriding gas.

4) Mudah untuk mewujudkan nitriding lokal, asalkan bagian yang tidak menginginkan nitriding tidak menghasilkan pendar, bagian yang tidak mengalami nitriding mudah dilindungi, dan pendar dapat dilindungi oleh pelindung mekanis dan pelat besi.

5) Penembakan ion dapat memurnikan permukaan dan menghilangkan lapisan pasif secara otomatis. Baja tahan karat dan baja tahan panas dapat dinitridasi secara langsung tanpa menghilangkan lapisan pasif terlebih dahulu.

6) Struktur lapisan majemuk, ketebalan lapisan infiltrasi dan strukturnya dapat dikontrol.

7) Kisaran suhu perawatan lebar, dan ketebalan lapisan nitriding tertentu dapat diperoleh bahkan di bawah 350 C.

8) Kondisi kerja telah ditingkatkan. Proses nitriding plasma dan bebas polusi dilakukan pada tekanan sangat rendah dengan gas buang yang sangat sedikit. Sumber gasnya adalah nitrogen, hidrogen, dan amonia, dan pada dasarnya tidak menghasilkan zat berbahaya.

9) Dapat diaplikasikan pada semua jenis material, termasuk baja tahan karat, baja tahan panas dengan suhu nitriding tinggi, baja perkakas, dan komponen presisi dengan suhu nitriding rendah, sedangkan nitriding suhu rendah cukup sulit untuk nitriding gas.